由于真空設(shè)備在制造和使用過程中存在各種污染，對其性能的影響很大。因此，真空裝置中污染的防治與清除非常重要。真空部件清洗技巧如下：
一.溶劑去油
零件所粘附的油脂分為礦物油、動植物油兩大類，礦物油可用有機(jī)溶劑去除，動植物油可用堿溶液化學(xué)去除，但實(shí)際上兩類油脂經(jīng)常同時存在，所以在清洗時往往需要先后采用數(shù)種不同的溶劑。
1堿液去油
當(dāng)零件浸入堿液時，由于堿液與油脂的化學(xué)作用可使動植物油轉(zhuǎn)化為脂肪酸鹽類（皂化作用），這些鹽類能溶解于水，從而能使零件除去油脂。金屬零件從去油溶液中取出后應(yīng)立即在溫水中清洗，然后再用冷水清洗。若金屬表面不水濕潤（有水滴）即表示油污尚未除盡，應(yīng)再次進(jìn)行處理。
2有機(jī)溶劑去油
有機(jī)溶劑能夠溶解礦物油和動植物油，通常可與堿液去油配合使用，常用有機(jī)溶劑有四氯乙烯（CCl4）、汽油等。水是各種無機(jī)物和其他物質(zhì)的良好溶劑，由于自來水中含有較多的氯離子，所以一般均用加熱后的自來水進(jìn)行清洗，當(dāng)要求較高時，可采用蒸餾水或去離子水，通常用流動的熱水清洗電鍍后和用酸、堿腐蝕后的零件。
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