首先，真空檢漏前就要查看圖紙，了解總漏量、分布漏量的要求。這一過程要了解：被檢的零部件和整個設備的結構與材料；真空系統的加工工藝、加工水平及裝配過程；使用要求等等。另外要查明哪些地方需要檢測，哪些地方有死空間，有沒有易漏的材料，如鑄件、焊接管，有沒有使用了容易出現漏孔的工藝等。
其次，根據所提出的zui大允許漏率以及是否需要找出漏孔的具體位置要求，從經濟快速、可靠的原則出發，選擇真空檢漏儀器與方法，以及可能所需的輔助設備（如質譜檢漏的輔助真空系統、連接管道與法蘭），并擬定檢漏程序。
第三，對被檢件進行清潔處理。去除焊渣、油垢、再進行清潔處理。清洗后要將被檢件烘干，對于要求較高的小型器件，在清洗后應放入真空烘箱內進行烘烤。清潔處理的目的是為了使漏孔不被污物、油、有機溶液等堵塞，并使檢漏儀器不被沾污。
第四，對所使用的檢漏方法和檢漏設進行靈敏度校準，并確定檢漏系統的反應時間。
第五，使用真空檢漏法時，為提供儀器的靈敏度，應盡可能將被檢器件抽到較高的真空度（必要時進行烘烤除氣）。
第六，當使用氦質譜檢漏儀檢漏時，對于那些檢漏靈敏度要求不高或者有大漏的被檢件，檢漏初期應盡量使用低濃度的氦氣進行檢漏，以節省氦氣。
第七，對已建出的大漏孔進行修補后，再進行小漏孔的檢查。
第八，檢出的漏孔復檢。
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