干式真空泵是相對于濕式真空泵而言的，例如水環真空泵需要水或者其他溶液做工作液，否則無法工作。旋片真空泵或者滑閥真空泵需要油做介質。而干式真空泵不要任何工作液就可以工作。
干式真空泵目前主要有羅茨干式真空泵真空泵，螺桿干式真空泵，爪式干式真空泵。這三類的轉子分別是羅茨轉子、螺桿轉子、爪式轉子。名稱也是這么來的。
目前國內用的最多的就是螺桿干式真空泵和爪式干式真空泵。故障率都比較高。
羅茨干式真空泵國內能做的了的一個巴掌數的過來。但是在國外，羅茨干式真空泵最廣泛。其實在同樣加工精度下，羅茨結構更穩定。
上面說的都是真空度比較高的，都是多級轉子組合起來的。
另外，羅茨氣冷真空泵也可以稱作干式真空泵，但是真空度很低。
干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅 制備工藝中；
2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和 研磨微粒；
3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用 型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的 蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
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