羅茨螺桿真空機組，是以羅茨真空泵為主泵，螺桿真空泵為前級泵的抽氣系統，此機組過流部分沒有任何液體作工作液，極限壓力不受水溫影響，對被抽工藝氣體不產生二次污染，便于排出氣體的回收。
羅茨螺桿真空機組是由羅茨泵與螺桿泵串聯組成，同時配有管路、閥門、機架及電器控制箱等，當前級螺桿泵工作后，由真空規頭及真空繼電器來控制羅茨泵起動。 由于羅茨泵與螺桿泵轉動部件都是不接觸件，因此機組具備運轉平穩、噪音低、振動小，結構緊湊、占地面積小等優點。 用途： 羅茨螺桿真空機組因節能效果明顯，高真空區抽氣量大，真空度高 , 是電工、電子鍍膜、冶煉、熱處理、干燥、蒸餾、制藥、化工、等行業理想的抽氣設備。特別適用于要求無油蒸汽污染的半導體行業，同時也適用于含有大量水蒸汽 及少量粉塵的場合。
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