羅茨螺桿真空機(jī)組，是以羅茨真空泵為主泵，螺桿真空泵為前級(jí)泵的抽氣系統(tǒng)，此機(jī)組過(guò)流部分沒(méi)有任何液體作工作液，極限壓力不受水溫影響，對(duì)被抽工藝氣體不產(chǎn)生二次污染，便于排出氣體的回收。
羅茨螺桿真空機(jī)組是由羅茨泵與螺桿泵串聯(lián)組成，同時(shí)配有管路、閥門(mén)、機(jī)架及電器控制箱等，當(dāng)前級(jí)螺桿泵工作后，由真空規(guī)頭及真空繼電器來(lái)控制羅茨泵起動(dòng)。 由于羅茨泵與螺桿泵轉(zhuǎn)動(dòng)部件都是不接觸件，因此機(jī)組具備運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)、噪音低、振動(dòng)小，結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小等優(yōu)點(diǎn)。 用途： 羅茨螺桿真空機(jī)組因節(jié)能效果明顯，高真空區(qū)抽氣量大，真空度高 , 是電工、電子鍍膜、冶煉、熱處理、干燥、蒸餾、制藥、化工、等行業(yè)理想的抽氣設(shè)備。特別適用于要求無(wú)油蒸汽污染的半導(dǎo)體行業(yè)，同時(shí)也適用于含有大量水蒸汽 及少量粉塵的場(chǎng)合。
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