真空泵廣泛應用于醫療醫藥、半導體、機械化工、低溫設備、電子、冶金、石油礦山等領域，其相關技術也得到了飛躍發展。在真空泵應用過程中，因生產工藝的不同真空泵會受到不同程度的腐蝕，若防護措施不當，常會因真空泵腐蝕而造成停產。因此，真空泵防腐是目前生產中延長真空泵使用壽命迫切需要解決的實際問題。
2007年開始， 真空泵相關專利申請數量開始加快增長，中國、日本是 真空泵防腐相關專利的主要受理國家，但是國內專利權未形成明顯的技術競爭優勢，且專利保護區域較局限，在國外申請了保護的卻寥寥無幾。
目前國內真空泵防腐技術主要針對的是羅茨真空泵、水環真空泵、蒸汽真空泵、液環真空泵、隔膜真空泵、渦輪分子泵等，采用的防腐技術主要包括三種：
一、通過在真空泵表面涂覆一層防腐蝕涂層，如三氟氯乙烯防腐層、特氟龍涂層、耐腐蝕的氧化層或氮化層、耐腐蝕耐候油漆等；
二、防腐材料的改進，常用的涂層材料有不銹鋼、錫青銅、硬質合金等金屬材料，天然橡膠、磷片、人工合成橡膠、陶瓷、塑料等非金屬材料，精密陶瓷、有機高分子或者耐溫耐腐耐磨高分子材料等新型材料，其中高分子材料有氟塑料、聚乙烯、聚氯乙烯等；
三、對泵的結構改造，如泵體上部安裝氣室，安裝上置式耐腐蝕氣水分離器。
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