羅茨螺桿組合真空機組，以羅茨真空泵為主泵，螺桿真空泵為前級泵的抽氣系統，因為羅茨真空泵和螺桿真空泵都是屬于干式真空泵，泵腔內無介質，對被抽氣體不產生二次污染，便于氣體回收!
羅茨螺桿組合真空機組在苛刻復雜的清潔真空應用領域，可以實現大抽速以及較高的真空度，滿足應用需要。同時通過防腐涂層等處理，對腐蝕性、有毒氣體具有良好適應性。目前羅茨螺桿真空機組在半導體、制藥、化工等行業的一些應用中，正在迅速替代原先的油封式真空機組。
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