產品介紹
蒸汽噴射泵-真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質,在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大,干式真空泵慢慢得到了大家的青睞。干式真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用部分型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
4、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機 溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
蒸汽噴射泵-珂勒曦螺桿真空泵,單極突破 極限真空,可長時間運行,并且針對國內高溫差、高濕度、高粉塵環境做了針對性優化,更適應國內的各類工況環境,實際應用實現更低故障率,更低能耗,更高能效。廣泛應用于電子光伏、包裝行業、真空模擬、風洞實驗和造紙與印刷等各種生產行業。