首先是氣體滲透率。
氣體滲透是指因為器壁兩側的壓差，導致氣體從密度大的一側向密度小的一側都會有一個滲入、擴散、通過和逸出的過程，該情況下的穩態流率就被稱之為滲透率。在真空技術應用中，不論是金屬、玻璃或是橡膠、塑料等真空材料對氣體來說都會被滲透，只是滲透量存在差異。例如常規情況下，金屬的滲透率就很小，對橡膠、塑料等有機材料的滲透就要大得多，其滲透的形態也會不一樣。
其次是出氣（放氣）性能。
固體材料在制造過程中以及在正常大氣環境下存放時都會溶解、吸附一些氣體。當壓差發生變化時，原有材料就會開始解溶、解吸而產生放氣。在一些真空系統中，材料的放氣是最主要的放氣源。放氣的速率與材料的氣體含量以及溫度等有關。
第三，材料的蒸氣壓、蒸發（升華）速率。
物質從液態轉化為氣態叫蒸發，從固態轉化為氣體叫升華，蒸發（升華）的同時伴隨著凝結。真空材料在封閉的真空空間，隨著真空度及溫度的變化，蒸發或升華現象也會產生變化。當一ding溫度下，蒸發（升華）的速率與凝結的速率達到平衡時，即達到了該材料的飽和蒸氣壓。在真空技術應用中，為了避免真空材料的蒸發（升華）成為氣源，要盡量采用在真空系統工作溫度范圍內蒸氣壓低的真空材料。
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