首先是氣體滲透率。
氣體滲透是指因?yàn)槠鞅趦蓚?cè)的壓差，導(dǎo)致氣體從密度大的一側(cè)向密度小的一側(cè)都會有一個滲入、擴(kuò)散、通過和逸出的過程，該情況下的穩(wěn)態(tài)流率就被稱之為滲透率。在真空技術(shù)應(yīng)用中，不論是金屬、玻璃或是橡膠、塑料等真空材料對氣體來說都會被滲透，只是滲透量存在差異。例如常規(guī)情況下，金屬的滲透率就很小，對橡膠、塑料等有機(jī)材料的滲透就要大得多，其滲透的形態(tài)也會不一樣。
其次是出氣（放氣）性能。
固體材料在制造過程中以及在正常大氣環(huán)境下存放時都會溶解、吸附一些氣體。當(dāng)壓差發(fā)生變化時，原有材料就會開始解溶、解吸而產(chǎn)生放氣。在一些真空系統(tǒng)中，材料的放氣是最主要的放氣源。放氣的速率與材料的氣體含量以及溫度等有關(guān)。
第三，材料的蒸氣壓、蒸發(fā)（升華）速率。
物質(zhì)從液態(tài)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)叫蒸發(fā)，從固態(tài)轉(zhuǎn)化為氣體叫升華，蒸發(fā)（升華）的同時伴隨著凝結(jié)。真空材料在封閉的真空空間，隨著真空度及溫度的變化，蒸發(fā)或升華現(xiàn)象也會產(chǎn)生變化。當(dāng)一ding溫度下，蒸發(fā)（升華）的速率與凝結(jié)的速率達(dá)到平衡時，即達(dá)到了該材料的飽和蒸氣壓。在真空技術(shù)應(yīng)用中，為了避免真空材料的蒸發(fā)（升華）成為氣源，要盡量采用在真空系統(tǒng)工作溫度范圍內(nèi)蒸氣壓低的真空材料。
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