運用的低真空抽氣機組還需根據被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊懇求，配置必要的除塵器、單調罐等部件。水蒸氣在緊縮過程中會凝結成水滴，并與泵混合構成懸浮液，不只會使真空度降落，也能使泵腔與轉子生銹，破壞密封面，使泵的極限真空度降落。為此，防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。防止的措施有：
（1）選用帶有氣鎮裝置的油封機械泵；
（2）裝油分別器、離心式分別器或油水分別器，將混有水的機械泵油中止處置，處置過的油再流入泵中運用；
（3）運用吸水性強的單調劑；
（4）運用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸氣，同時還可以阻撓機械泵油向高真空室返流。
油擴散泵羅茨水環真空機組構成的各類真空裝置，長期運用后，常見的缺點是真空度抽不上去，或真空度抽不到原來的極限真空水平。與真空室內壁的油蒸氣污染、真空工藝過程各種污染物的污染有關，防止的辦法是：（1）定期清洗真空室；（2）定期對油封機械真空泵和油金屬擴散泵中止清洗。
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