負壓真空泵，指的就是微型真空泵。因為具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，并且在進口處能夠持續形成真空或負壓（相對真空），排氣嘴處形成微正壓。正是因為進口處形成負壓，所以又把微型真空泵叫做小型負壓泵。
其簡單工作原理如下：電機的圓周運動，通過機械裝置使泵內部的隔膜做往復式運動，從而壓縮、拉伸泵腔內的空氣形成負壓，在抽氣口處與外界大氣壓產生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體吸入泵腔，再從排氣口排出。
對于微型泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測定，把它與泵的技術參數“進氣口允許阻力”Por值比較就可以知道選型是否合適。通常根據經驗采用簡便的方法確定，比如下述幾種情況都屬于負載較大（即泵的抽氣端阻力較大），只能在微型真空泵范圍內選型：①在泵的抽氣端要接很長的管道，或管道彎曲點多、彎曲厲害甚至會阻塞封閉，或管道內孔很小（比如小于φ2毫米）；②在管路上有節流閥、電磁閥、氣路開關、過濾器等元件；③泵抽氣口與密閉容器連接，或該容器雖未密閉但進氣量較小；④泵抽氣口與吸盤連接，用于吸附物體（如集成塊、精密工件等）；⑤泵的抽氣端與過濾容器相連，容器口放置濾網，用于加速液體過濾。
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