產品介紹
羅茨真空泵中，除了濕式羅茨泵以及氣冷羅茨泵，還有多級羅茨真空泵也可以直排大氣而無需配置前級泵。因為日常中比較少見，所以很多人對它并無了解，就讓無油真空泵廠家帶您一起來簡單了解下。
多級羅茨真空泵是干式羅茨真空泵中的一種，在美日等國家較多的應用與半導體及化工行業。它的“多級”是相對于傳統的一個轉子的“單級”羅茨真空泵而言，形式上多個轉子串聯，中間由中間壁隔離形成多個相對獨立的泵腔，各級泵腔通過各級的進氣口與排氣口相連形成氣流通道。各級轉子的直徑和形狀是相同的，但是寬度有可能相同也可能不同。不同的話高壓側方會變窄。
多級羅茨真空泵的轉子串聯并不能提升泵本身的抽速，其理論抽速取決于一級的抽速。但是它能達到很高的壓縮比，被抽氣體從一級進氣口進入泵腔，經過壓縮后，進入下一級會繼續被壓縮，直至最后一級被排出，實現多級壓縮，因此可以實現直排大氣，而無需配置前級泵。3～6級的多級羅茨真空泵可以從大氣壓下抽到極限壓力1Pa。
但是高壓縮比在多級羅茨真空泵中同樣會帶來轉子過熱膨脹現象，為避免卡死，會在高壓端對轉子進行冷卻。一般通過氣冷，從各級的排氣口排出的氣體流，經冷卻器冷卻再返回到該級的工作腔中，利用冷卻氣體來冷卻轉子。這種冷卻方式要以犧牲抽速為代價。
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