1.由于精度要求比較高，在維修前需要認真檢測，不是非常必要則不必拆開,以防檢修不當,降低精度。當然涉及部分零部件性能變差或者零部件配套間隙變異時，需要對其進行調整。
2.在維修時，需要按部就班，不可硬拆、強拆。并要求對拆卸的泵浦零部件進行排序標示，一邊裝配時運用。例如萊寶真空泵維修，可以按照先拆卸電機，聯軸器，端蓋、取出主軸等順序方法進行。但不管哪種泵浦在裝配時都須保證零部件的干燥與清潔。
3.總裝配。零部件和各真空室分別裝好后,要試使其轉動一下,要保證其無阻滯絞絆現象。待Z上面的前端蓋裝好后,即可從上向下穿入拉緊螺栓,拉緊后即可將機座放平。調整各真空室的進氣管,使其在同一平面上,然后把拉緊螺栓擰緊,并試轉動連接桿,其轉力矩應小于100公斤/公分,且無嚴重的局部阻滯感。Z后裝好排氣閥門、單向閥等。這時可轉動鏈輪。這樣各機座就已裝配完畢。 Z后按前述拆泵時相反次序裝配箱體部分。注意保證密封處不準漏氣，油密封室亦不準漏油。
螺桿真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破 極限真空泵，可長時間運行，并且針對國內高溫差、高濕度、高粉塵環境做了針對性優化，更適應國內的各類工況環境，實際應用實現更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應用于電子光伏、包裝行業、真空模擬、風洞實驗和造紙與印刷等各種生產行業。