旋片式真空泵-電子轟擊除氣是通過讓電子獲得動能打入到固體表面較深處，將能量以熱能形式傳給固體，使其內部原子向表面擴散，而表面上吸附的原子則得到釋放；烘烤加熱除氣是通過加熱使吸附的氣體從被加熱的表面上解吸。
旋片式真空泵-兩者的機理本質上相同，受制于材料體內雜質向表面擴散速率，而區別在于，電子轟擊除氣過程對氧化膜的破壞非常迅速，而加熱除氣對材料表面的氧化膜破壞很小。
烘烤加熱除氣時，大多數金屬氧化物的化學穩定性較好，一般不會發生熱離解。其對氧化膜的清除主要依靠加熱時從金屬體內擴散出來的碳原子的還原作用，這種還原過程很慢。而電子轟擊除氣過程中，材料表面的氧化膜在電子轟擊下會很快產生離解并清除，而體內的氧會隨之向表面擴散補充。這種差異下，與烘烤加熱除氣相比，電子轟擊除氣的起始出氣率很高，一般要大幾到十幾倍。
旋片式真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破 極限真空，可長時間運行，并且針對國內高溫差、高濕度、高粉塵環境做了針對性優化，更適應國內的各類工況環境，實際應用實現更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應用于電子光伏、包裝行業、真空模擬、風洞實驗和造紙與印刷等各種生產行業。