運(yùn)用的低真空抽氣機(jī)組還需根據(jù)被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊懇求，配置必要的除塵器、單調(diào)罐等部件。水蒸氣在緊縮過程中會(huì)凝結(jié)成水滴，并與泵混合構(gòu)成懸浮液，不只會(huì)使真空度降落，也能使泵腔與轉(zhuǎn)子生銹，破壞密封面，使泵的極限真空度降落。為此，防止水蒸氣對(duì)機(jī)械泵的污染很重要。防止的措施有：
（1）選用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵；
（2）裝油分別器、離心式分別器或油水分別器，將混有水的機(jī)械泵油中止處置，處置過的油再流入泵中運(yùn)用；
（3）運(yùn)用吸水性強(qiáng)的單調(diào)劑；
（4）運(yùn)用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸氣，同時(shí)還可以阻撓機(jī)械泵油向高真空室返流。
油擴(kuò)散泵羅茨水環(huán)真空機(jī)組構(gòu)成的各類真空裝置，長(zhǎng)期運(yùn)用后，常見的缺點(diǎn)是真空度抽不上去，或真空度抽不到原來的極限真空水平。與真空室內(nèi)壁的油蒸氣污染、真空工藝過程各種污染物的污染有關(guān)，防止的辦法是：（1）定期清洗真空室；（2）定期對(duì)油封機(jī)械真空泵和油金屬擴(kuò)散泵中止清洗。
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