近年來，隨著真空應用范圍越來越廣泛，在真空干燥、真空浸漬、真空脫水、真空冶煉等行業用滑閥泵抽除氣體都含有大量水蒸汽。如果在真空泵中不能及時排除，就會污染真空泵油，造成真空泵抽氣性能降低。盡管在泵上設置了氣鎮閥，認可降低泵的極限真空，用氣鎮方法抽除可凝性氣體，但對于真空干燥、脫水、煉泥等水蒸汽含量高的抽氣過程來說，用氣鎮方法并不理想，一般有以下方法可試用：
1、滑閥泵與冷凝器配套使用。目前國內多數廠家采用這一方案。原理是將冷凝器串接在泵與被抽容器之間，把真空工藝設備中的大量水蒸汽用冷凝器捕捉成水，從而減少水蒸汽進入真空泵中的數量、降低泵油污染程度。如果適當調節冷凝器出口閥門流量和充分發揮真空泵上的氣鎮閥作用，可以取得較好的抽氣效果。
2、變滑閥泵為熱泵。根據水的物理特性及相圖原理，可將滑閥式真空泵改成熱泵。這樣.可在較高泵腔溫度條件下，抽除大量可凝性水蒸汽。其工作原理如下：用一套自動溫度調節控制器，通過自動控制泵的冷卻水流量來達到控制泵腔溫度的目的。使得在抽氣過程中，泵腔的溫度始終控制在高于水的飽和蒸汽壓溫度，促使被抽氣體中的大量水蒸汽能順利排出。
3、為避免出現由于泵腔內溫度較高，泵長期工作可能會出現的泵油變稀、真空度下降、運轉零部件卡死等現象，在設計中可采用耐高溫的泵油(如N-62或N-68)和耐高溫軸承.加大運轉零部件的間隙等。
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