旋片真空泵是一種很普遍的中小型真空獲得設備，它的一些基本原理介紹可以參見螺桿真空泵廠家以前的文章《容積式真空泵知多少——旋片式真空泵》。普通的旋片式真空泵都屬于油封式機械真空泵，旋片與泵腔之間存在油膜，以實現(xiàn)潤滑與密封。因抽氣介質(zhì)與泵油會直接接觸，因此它不適用于抽除一些會與泵油發(fā)生反應的介質(zhì)環(huán)境。
在一些需要避免油污染的清潔中小抽氣應用中，就會用到干式旋片真空泵。干式旋片真空泵在結構原理上，與普通的旋片真空泵是一致的。它們之間最主要的區(qū)別是，作為一種接觸型的干式真空泵，干式旋片真空泵因為在無油的狀態(tài)下工作，因此在旋片材料上與普通旋片泵會有差異，它必須具有自潤滑的功能，來擺脫對油的潤滑依賴，這方面目前國內(nèi)外干式旋片真空泵的旋片通常采用的都為碳素材料。
同時因為沒有了油潤滑與密封，為保證密封性，干式旋片真空泵一般會采用多旋片結構：干式旋片真空泵的多旋片結構
多個旋片將泵腔分隔成多個氣室，增加氣密性，減少氣體返流。但即使是這樣，干式旋片真空泵在真空度上也是不及普通的油封式旋片真空泵的，一般用于清潔的粗真空獲得（多在100mbar左右），而普通的油封式旋片真空泵可以達到10^-2Pa的極限壓力。
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