吹掃是用于冷卻泵體內部和螺桿，爪型干式無油真空泵運轉時，螺桿旋轉使得被抽氣體進入泵腔并且壓縮到排氣端，由于熱壓縮，氣體溫度會迅速升高，要立即排除這些熱量，防止泵損壞：
開機/停機（清洗）吹掃是為了在真空泵運行前或運行后排出泵內殘留的氣體或一些有害的物質，如水汽，大氣等。開機/停機（清洗）吹掃采用的氣體要是不影響被抽介質的氣體或惰性氣體，如氮氣、氬氣。當被抽氣體為腐蝕性氣體，毒性氣體或者是如樹脂這類的聚合物，開機/停機（清洗）吹掃更為重要。
開機/停機（清洗）吹掃：關閉進氣口主閥門，啟動真空泵并通入吹掃氣體20~30分鐘以清除殘留氣體，清理完畢后應立即關閉電機而此時主閥門仍然務必要保持關閉狀態。
當我們在對爪型干式無油真空泵吹掃時，當被抽氣體不適合用空氣吹掃時，就要采用其它的冷卻介質比如氮氣，以及干燥的、清潔的空氣等，這個要注意，避免對被抽介質造成不好的影響。
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