螺桿真空泵通常是不允許工作的溫度過高的，一旦溫度過高就會對設備的運行產生一定的影響。螺桿真空泵的冷卻是可以讓設備的溫度降低，選擇合適的冷卻方式讓設備達到較好的冷卻效果。
一.殼體冷卻。
干式螺桿真空泵由于轉子在工作過程中無潤滑油的參與，無法通過潤滑油帶走工作時產生的熱量。尤其是等螺距螺桿真空泵，由于無內壓縮過程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會造成轉子和機殼變形，影響抽氣效果。
因此干式螺桿真空泵殼體采用雙層管壁中空結構，我們可以稱之為冷卻套，其內置冷卻液，是干式螺桿真空泵的主要散熱通道。水冷是比較常見的方法，冷卻套中通冷卻水，可以達到冷卻殼體進而冷卻轉子的目的。
在此之外少數公司可以在轉子內部通水冷卻，增加轉子壽命，并達到很好的冷卻效果。但該結構設計，需要一定的技術及加工水平支持。
二.氣體冷卻。
用水冷有時不能達到比較理想的冷卻效果，因而通常在靠近排氣端轉子附近通冷卻氣體（多為氮氣），現在國外的主流干式螺桿真空泵都采用這種方法。這種方法有兩個好處：一個是能冷卻轉子及機殼，降低排氣溫度；另一個是，當氣體內含有顆粒物時，能防止顆粒物沉積或者引發各類化學反應。
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