螺桿真空泵在使用時常會用到氮氣進行填充，主要是因為用氮氣對泵進行吹掃，可以延緩腐蝕性氣體對泵的腐蝕，從而起到一個良好的保護作用。
氮氣的吸附熱小，吸附于物體表面的時間短。當氮氣吸附于螺桿真空泵的器壁表面時，將會很容易被抽走。真空系統清洗中的氮氣吹掃正式利用了它的這個特性。在真空鍍膜中，用干燥氮氣吹掃清洗過真空系統后，氮分子會首先吸附于真空系統的器壁。由于器壁表面的吸附位是一定的，被氮分子沾滿后，其他的分子如水分子等就會減少。因而真空系統的整個抽氣時間就會大大減少。
氮氣是一種穩定的氣體，可以很好的對螺桿真空泵起到保護作用，有效延長使用壽命，減緩腐蝕問題。
化工真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破 極限真空，可長時間運行，并且針對國內高溫差、高濕度、高粉塵環境做了針對性優化，更適應國內的各類工況環境，實際應用實現更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應用于電子光伏、包裝行業、真空模擬、風洞實驗和造紙與印刷等各種生產行業。