一、溶劑清洗。
待清洗的油封式真空泵部件
溶劑清洗是真空系統清洗中 普遍的一種方法。常見的清洗溶劑包括有機溶劑、含洗滌劑的水、稀酸、堿、石油分餾物、各種金屬清洗劑等等。根據污染物的不同，需要用不同的溶劑進行清洗。如礦物油脂需要用有機溶劑，銹蝕物需要用酸性金屬清洗劑等。
二、超聲波清洗。
超聲波清洗是利用超聲空隙作用來清洗目標，可以實現很強的物理清洗作用，清除較強粘附污染物。超聲波清洗可以進入復雜的異形孔道，是很多清洗方法無法實現的。超聲波清洗在應用中，需要根據污染物的不同，配合各類清洗溶劑。
三、蒸汽脫脂清洗。
蒸汽脫脂清洗適用于對表面油脂膜和類脂膜的清洗，操作方法簡單，可以實現大批量清洗。一些帶有牢固附著物或污染較為嚴重的基片在擦洗或超聲波清洗后，用蒸汽脫脂清洗可以實現很好的清洗效果，常用于玻璃物件清洗的最后一步。
四、電解侵蝕清洗。
電解侵蝕清洗類似于電解拋光，是指在溶劑中利用電解作用，清除金屬部件表面上的薄銹或氧化膜等污染物，主要用于化學穩定性較高的合金部件，如不銹鋼，耐熱鋼，鎳基合金等。
五、加熱和輻照清洗。
加熱清洗主要是將部件置于常壓或真空中加熱，使其表面上的易揮發污染物揮發來達到清洗的目的。輻照清洗則是通過紫外輻照來分解部件表面上的碳氫化合物。
六、放電清洗。
放電清洗一般用于高真空、超高真空系統清洗中。利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳氫化合物的去除。放電清洗的效果取決于電極材料、幾何形狀及其與表面的關系。
七、氮氣清洗。
氮氣清洗主要是利用了氮氣在材料表面的吸附熱小、吸留時間短，容易被抽走的特性，用氮氣沖洗被污染的真空系統，同時擠占水氣等其他氣體分子的粘附空間，縮短真空系統的抽氣時間。
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