真空系統應用中因為會經常涉及到防腐要求，因此，在很多場合、環節都會采用哈氏合金與不銹鋼材料。但是這兩種金屬材料在成分構成以及耐腐性能上是有差異的。
不銹鋼是指含鉻量大于 %、具有不銹性和耐腐蝕性的鐵基合金的統稱。它是一種低碳鐵基金屬，鐵的含量zui高約在70%左右，然后根據耐腐性能需求的不同，會加入不同組合、含量的鉻、鎳、鉬、鈦、氮等元素，通過不同的工藝形成不同種類、性能的不銹鋼產品。
而哈氏合金，則是一種耐腐蝕鎳基合金，鎳的成分很高，含量在50%或以上。再根據鉻、鉬、銅等元素的組成不同，形成多個系列的哈氏合金。目前應用 廣泛以及常見的是B、C兩個系列的哈氏合金，用于鐵基合金（不銹鋼）以及非金屬材料等在某些難以勝任的強腐蝕性介質場合。
哈氏合金與不銹鋼一樣，在真空系統應用中，在不同的介質中都會有不同的耐腐蝕表現。如B系列哈氏合金（含鉬＞15％），對具有特定溫度、高濃度的鹽酸有良好的耐腐蝕性能，而其他大多數金屬和合金都不能抵抗這種強腐蝕；C系列則對耐氧化性酸如硝酸、混酸、或鉻酸與硫酸的混合物，以及鹽類如3價鐵離子、2價銅離子或含其它氧化劑的介質環境，耐腐蝕性能良好。
所以在真空系統應用中，選擇哈氏合金與不銹鋼等耐腐材料時，需要根據介質來選擇不同的類型的合金種類。
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