此前介紹中螺桿真空泵廠家就提到電子束轟擊除氣對氧化膜的破壞非常迅速，因此在電子束轟擊除氣過程中會發生的一個現象就是材料表面化合物的離解。固體材料表面的化合物主要就是氧化物。由于它們的分解能閾較低，因此在電子轟擊下很容易離解，離解時會釋放大量的氣體離子或分子。
接下來是分子的聚合。被電子轟擊后 和電離的分子及其“碎片”可能來不及蒸發而彼此作用形成聚合分子，并牢固附著在固體表面。這種現象對電真空器件來說是有害的。不過利用這種現象，可以在高真空或真超高真空系統中制作“離子阱”，利用磁控放電產生離子將沉積在阱壁上的油分子轟擊成碎片，進而形成聚合物附著在阱內壁成為固態聚合膜，防止進入無油高真空側。
二次電子發射。電子轟擊固體表面時肯定會產生 數量的二次電子，其多少取決于一次電子能量和固體的二次發射系數。螺桿真空泵廠家在《珂勒曦小課堂：電子發射的幾種形式》也介紹過什么是二次電子發射。在除氣應用中，二次電子發射對電真空器件中的絕緣材料也是有害的，尤其是高電壓器件中。
熱效應。當電子穿入固體后，與固體中的電子多次碰撞釋放出能量，就會使固體溫度上升，而且發熱部位不再表面而在物體內的某一深度處。這種能量交換及轉換的效率與電子速度以及固體元素的原子序數有關。
固體原子的蒸發。當電子轟擊的能量超過 程度，就可能引起固體原子蒸發，不過這需要在高壓電場下，因此一般真空器件的電子轟擊除氣不會出現這個現象。
X射線輻射。除氣過程中，被外來電子激發的電子或電子群返回原始正常能態時，常以光量子形式輻射出多余能量，其振蕩頻率一般位于X光譜區。因此電子流能量有一半會轉變為X射線。這種X射線在高電壓的真空器件中會產生除氣作用。
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