第yi、通過真空室所需要建立的極限壓力確定真空泵系統主泵的種類，通常主泵極限壓力的選擇要比真空泵室的極限壓力低1半到1個數量級，
第二、通過真空室進行工藝成產時所須要的工作壓力來選真空泵系統主泵
應該正確地選擇主泵的靜態工作點，在它的工作壓力界限，要能排除真空泵室內工藝過程間所造成的全部氣體量。所以，真空泵室內的工作壓力 要在主泵的較佳抽速壓力范圍以內。
第三、根據真空室的容積大小和要求的抽真空時間來選真空泵系統主泵
真空室容積的大小對真空系統所要抽到極限真空度的時間長度有所影響。當抽氣的時間段要求必須時，假如真空室容積越大，那么主泵抽速也越大。
第四、正確地組成真空泵系統
由于真空泵有選擇性地抽真空，因此有時采用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾類泵組成起來，相互之間補充才能符合抽氣要求。
第五、若真空系統嚴格要求無油時，則應當選各種無油泵作真空泵系統主泵
要是要求不嚴格，那么可以選擇油泵，之后再加一些防油污染的策略，可以加擋油阱、障板、冷阱等，也可以達到清潔真空的標準。
第六、選擇真空泵時，應當知道被抽氣體成份，針對被抽氣體成份選擇相對的真空系統主泵
如果氣體中含有腐蝕性氣體、顆粒灰塵等，則應當考慮到選取干式真空泵、耐腐蝕真空泵等。或在泵的進氣口管道上安裝輔助設備。
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