蒸汽沖洗就是一種去除殘余壓縮氣體物質的有效方法。如果積聚殘余壓縮物質時，請確保泵不會給電機旋轉產生太大壓力。特別是對一些活潑性的物質，如低聚物、單體、聚合物、樹脂等正確沖洗加以清除，有很好的效果。凈化和清洗的目的，是螺桿真空泵運行以后，粘性物質集聚在泵內，如果不及時清洗和凈化，可能致使泵運行后電機負載加大，電機電流增加，造成泵過快損壞。或者腐蝕性氣體集聚在泵內，對造成泵的過流部分部件的鍍層脫落。凈化和清洗的時機有二種，一種是運行前，一種是運行后，前后都必不可少。無論是惰性氣體還是蒸汽，其壓力應該在 1 公斤/cm2，不能過高，也不能過低。過高將損壞骨架油封，過低將不起作用。操作，將 1 公斤/cm2 壓力的惰性氣體或蒸汽，從閥門 處接入。關閉進氣口閥門 ，打開充氣閥門 ，打開閥門 。啟動泵，30 分鐘左右。時間視泵內集聚物質決定。停機以后，用手轉動泵，是否順暢，順暢的話，說明完成，不順暢的話重復 2-3 次。然后關閉充氣閥 ，啟動泵再運行 20 分鐘，排空泵內的液體，直至排氣口無液體排出為止，停機。關閉閥門，啟動泵，檢查泵的運行是否正常。此時也應該打開冷卻水。 空運轉，清洗和凈化過程完成后，需要對泵進行 20-30 分鐘的孔運轉，以 排空泵內的殘留物，以免影響下一次的正常運轉。對泵的凈化和清洗，不能使用上述方法以外的任何一種方法進行，否則將會產生更壞的結果。
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