ktrobot01  產(chǎn)品特色

 應(yīng)用領(lǐng)域


 高速傳片效率

 光刻


 MCBF大于1000萬次

 ETCH


 SEMI認(rèn)證S2、F47

 CVD


 網(wǎng)絡(luò)化控制器

 PVD


 手指及接口可用戶定制

 MOCVD


 采用真空負(fù)壓吸附

 TRACK


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