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維修案例:EBARA40×20ERD5M-N 無法運(yùn)轉(zhuǎn),軸承損壞,腔體轉(zhuǎn)子磨損。維修操作:拆解空機(jī)清洗,去除制程污染物,轉(zhuǎn)子噴滌修復(fù),腔體修復(fù),更抽軸承,間隙調(diào)試測(cè)試。修復(fù)后性能檢測(cè):真空度4.1*10-2MBAR ,泵體運(yùn)行溫度:85度,抽氣速率72M3/h 電氣參數(shù):220V 8.16A 噪音水平、排氣壓力均一切正常。維修結(jié)論:整機(jī)運(yùn)行良好!
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