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維修案例:EBARA40×20ERD5M-N 無法運轉,軸承損壞,腔體轉子磨損。維修操作:拆解空機清洗,去除制程污染物,轉子噴滌修復,腔體修復,更抽軸承,間隙調試測試。修復后性能檢測:真空度4.1*10-2MBAR ,泵體運行溫度:85度,抽氣速率72M3/h 電氣參數:220V 8.16A 噪音水平、排氣壓力均一切正常。維修結論:整機運行良好!
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