掃描電子顯微鏡掃描電鏡能譜儀
分辨率：30x ～ 60,000x 
放大倍數(shù)：30x ～ 60,000x 
加速電壓 : 5~30kV (5/10/15/20/30 - 5step)
Detector 檢測(cè)器: 二次電子圖像(SE) 背散射檢測(cè)器(BSE)
觀察模式: Standard Mode
電子槍: 預(yù)對(duì)中鎢燈絲、自動(dòng)偏壓方式
透鏡系統(tǒng): Two-stage Elecromagnetic、One-stage Elecromagnetic
探測(cè)器類(lèi)型: E-T Detector(SEI)
Stage Trverse: 5-axis System
圖像移位距離：X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°、Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45°
樣品尺寸: 70mm/ 30mm
光斑模式
自動(dòng)功能
圖像存儲(chǔ)格式
數(shù)據(jù)顯示
真空系統(tǒng)
操控系統(tǒng)
控制系統(tǒng)
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