掃描電子顯微鏡掃描電鏡能譜儀
分辨率：30x ～ 60,000x 
放大倍數：30x ～ 60,000x 
加速電壓 : 5~30kV (5/10/15/20/30 - 5step)
Detector 檢測器: 二次電子圖像(SE) 背散射檢測器(BSE)
觀察模式: Standard Mode
電子槍: 預對中鎢燈絲、自動偏壓方式
透鏡系統: Two-stage Elecromagnetic、One-stage Elecromagnetic
探測器類型: E-T Detector(SEI)
Stage Trverse: 5-axis System
圖像移位距離：X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°、Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45°
樣品尺寸: 70mm/ 30mm
光斑模式
自動功能
圖像存儲格式
數據顯示
真空系統
操控系統
控制系統
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