規(guī)格指標(biāo) 1.X射線照射方向： 從上到下 2.X射線激發(fā)： 50瓦鎢靶微聚焦X射線管， 黃銅管體相比不銹鋼管體，具有更好的散熱性能，有效延長(zhǎng)射線管壽命。 3.電壓0-50KV連續(xù)可調(diào)（滿足不同元素的激發(fā)，保證測(cè)試精準(zhǔn)性） 4.探測(cè)器類型：先進(jìn)的固態(tài)半導(dǎo)體SiPIN探測(cè)器，分辨率優(yōu)于190eV；相比PC氣態(tài)探測(cè)器帶來(lái)更低的噪音，更低的檢測(cè)下限；受環(huán)境影響小，穩(wěn)定性好；不需二次濾波器，提高測(cè)試效率。 5.濾波器： 一次濾波器，規(guī)格0.1mm Al、0.5mm Al、1.0mm Al,每個(gè)一次濾波器可獨(dú)立于準(zhǔn)直器自動(dòng)切換 6.不低于4096通道的多通道處理器 7.測(cè)量元素范圍：從鋁（13）到鈾（92） 8.準(zhǔn)直器（測(cè)量斑點(diǎn)大小）:四個(gè)自動(dòng)切換，圓形0.1、0.2、0.3、0.6mm直徑 ，滿足不同樣品測(cè)試需求。 9.測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)： 符合ASTM B568及GB/T16921/ISO3497標(biāo)準(zhǔn) 10.測(cè)量厚度：可無(wú)損分析單鍍層，合金鍍層，雙鍍層。最多可分析5層（4層鍍層加基材），成分分析時(shí)至少支持同時(shí)分析25種元素 11.可測(cè)樣品高度： ≤140mm 12.樣品倉(cāng)內(nèi)部尺寸： 305mm x 330mm (寬x深)： 13.Z軸控制：Z軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)自動(dòng)控制升降，行程140mm，配有Z軸防撞機(jī)構(gòu) 14.樣品平臺(tái)： 固定樣品平臺(tái)，樣品通過(guò)手動(dòng)自由調(diào)節(jié)。 15.焦距及對(duì)焦：固定焦距，0至2.5英寸可選，激光自動(dòng)對(duì)焦。 16.準(zhǔn)確度和重復(fù)性：厚度大于0.5um首層準(zhǔn)確度≤±5%（測(cè)試平均值與標(biāo)準(zhǔn)片值相比），重復(fù)性相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差≤5%（單點(diǎn)重復(fù)測(cè)量10次） 17.操作軟件： 基于FP（基本參數(shù)法）的控制軟件 18.可將波譜文件保存，并在日后進(jìn)行重新分析、處理和計(jì)算 19.測(cè)量數(shù)據(jù)可通過(guò)通訊接口實(shí)時(shí)輸出，方便接入用戶單位的實(shí)驗(yàn)室管理系統(tǒng) 在軟件的狀態(tài)欄可實(shí)時(shí)顯示X射線管及探測(cè)器溫度及電壓電流等參數(shù)，