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真空可以指壓力小于正常一個大氣壓（負壓）的任何氣態空間，當金屬的熱處理過程是置于真空中進行時，就稱為真空熱處理，真空熱處理幾乎可實現全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、滲鉻等；在淬火工藝中可實現氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬、脫氣等，在通入適當介質后，也可以用于化學熱處理。

真空狀態下負壓的程度稱為真空度，真空度最常用的單位是Pa和托（Torr,1 Torr=133.3Pa）。氣壓越低，真空度超高；氣壓越高，真空度越低。根據真空度的大小，真空通常被分為低真空、中真空、高真空和超高真空四級。另外，真空度還常用真空狀態內水蒸氣的表示。真空爐中的氣體包括殘留空氣、爐體及工件內釋放的氣體；潤滑油蒸發氣體和外界滲入氣體等，非常復雜，要用真空泵不停排氣以保證達到所需要的真空度。

真空熱處理方法所得到的模具鋼料表面可以獲得一般熱處理所沒有的特殊效果，較傳統熱處理有更高的優越性。

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