真空鍍膜機-恒譽真空磁控濺射卷繞鍍膜設備批發
所在地:廣東省肇慶市
聯系人:宋生
價格:面議
品牌:恒譽,,,,
發布時間:2025-06-03
【產品詳情】真空鍍膜機-恒譽真空磁控濺射卷繞鍍膜設備
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真空鍍膜機,恒譽真空磁控濺射卷繞鍍膜設備批發, 恒譽真空是一家具有實力的磁控濺射卷繞鍍膜設備生產企業,一直把滿足客戶要求作為企業經營的核心,嚴把質量關口,努力提率是我們的目標。我司堅持不懈,努力為中小企業提供適應市場需求的磁控濺射卷繞鍍膜設備。“創新產品種類,嚴格質量控制”,公司遵循著這樣的原則,持續為客戶提供有口碑的磁控濺射卷繞鍍膜設備。
恒譽真空產品品種特別、質量優良、價格適中、交貨及時、策略靈活、服務好。為了方便廣大中小企業,當客戶以銀行轉賬的方式付款后,我們會在雙方協商的時間內把磁控濺射卷繞鍍膜設備發送到客戶手中,如有不懂的,可以隨時打電話了解。同時我們公司還提供著產品售出后質保一年的售后服務。
肇慶市高要區恒譽真空技術有限公司是一家從事磁控濺射卷繞鍍膜設備生產的可靠公司,位于肇慶市高要區金渡鎮世紀大道交警中隊西側,地理位置優越,交通便利。恒譽真空創立于2012-07-23,經過快速的發展,凝聚培養了一大批技術人才和管理團隊。在機械和行業設備專用配件行業發展中,我們主要面向中小企業提供磁控濺射卷繞鍍膜設備等產品。
真空鍍膜機,
磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點:利用磁場與電場交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,從而增大電子撞擊氬氣產生離子的概率。所產生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。
靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結合力強。平衡靶源多用于半導體光學膜,非平衡多用于磨損裝飾膜。磁控陰極按照磁場位形分布不同,大致可分為平衡態和非平衡磁控陰極。平衡態磁控陰極內外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線閉合于靶面,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,增加碰撞幾率,提高了離化效率,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電,靶材利用率相對較高,但由于電子沿磁力線運動主要閉合于靶面,基片區域所受離子轟擊較小.非平衡磁控濺射技術概念,即讓磁控陰極外磁極磁通大于內磁極,兩極磁力線在靶面不完全閉合,部分磁力線可沿靶的邊緣延伸到基片區域,從而部分電子可以沿著磁力線擴展到基片,增加基片區域的等離子體密度和氣體電離率.不管平衡非平衡,若磁鐵靜止,其磁場特性決定一般靶材利用率小于30%。為增大靶材利用率,可采用旋轉磁場。但旋轉磁場需要旋轉機構,同時濺射速率要減小。旋轉磁場多用于大型或貴重靶。如半導體膜濺射。對于小型設備和一般工業設備,多用磁場靜止靶源。用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,點火和濺射很方便。這是因為靶(陰極),等離子體,和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。于是人們采用高頻電源,回路中加入很強的電容。這樣在絕緣回路中靶材成了一個電容。但高頻磁控濺射電源昂貴,濺射速率很小,同時接地技術很復雜,因而難大規模采用。為解決此問題,發明了磁控反應濺射。就是用金屬靶,加入氬氣和反應氣體如氮氣或氧氣。當金屬靶材撞向零件時由于能量轉化,與反應氣體化合生成氮化物或氧化物。磁控反應濺射絕緣體看似容易,而實際操作困難。主要問題是反應不光發生在零件表面,也發生在陽極,真空腔體表面,以及靶源表面。從而引起滅火,靶源和工件表面起弧等。德國萊寶發明的孿生靶源技術,很好的解決了這個問題。其原理是一對靶源互相為陰陽極,從而消除陽極表面氧化或氮化。冷卻是源(磁控,多弧,離子)所必需,因為能量很大一部分轉為熱量,若無冷卻或冷卻不足,這種熱量將使靶源溫度達一千度以上從而溶化整個靶源。
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