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真空鍍膜機|恒譽真空立式蒸發鍍膜設備行情價格

供應商:肇慶市高要區恒譽真空技術有限公司【公司商鋪】

所在地:廣東省肇慶市

聯系人:宋生

價格:面議

品牌:恒譽,,,,

發布時間:2025-03-21

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【產品詳情】真空鍍膜機|恒譽真空立式蒸發鍍膜設備行情

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公司產品質量穩定,貨源庫存充實,價格合理優惠,配送交貨及時。如若訂購恒譽真空的立式蒸發鍍膜設備,公司將在雙方協商的時間內進行發貨,您的貨款可以通過銀行轉賬進行支付。我司還將提供產品售出后質保一年的售后服務。我公司鄭重向你承諾:保證以良好的產品質量,以能讓用戶接受的親民價格,讓人滿意稱贊的售后服務,來答謝新老客戶。

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磁控濺射是物理中氣相沉積(Physical Vapor Deposition,PVD)的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導體、絕緣體等多材料,且具有設備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優點,而上世紀 70 年代發展起來的磁控濺射法更是實現了高速、低溫、低損傷。因為是在低氣壓下進行高速濺射,須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場,利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。

磁控濺射定義

在二極濺射中增加一個平行于靶表面的封閉磁場,借助于靶表面上形成的正交電磁場,把二次電子束縛在靶表面特定區域來增強電離效率,增加離子密度和能量,從而實現高速率濺射的過程。

磁控濺射原理

磁控濺射的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發生碰撞,使其電離產生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產生的二次電子會受到電場和磁場作用,產生E(電場)×B(磁場)所指的方向漂移,簡稱E×B漂移,其運動軌跡近似于一條擺線。若為環形磁場,則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運動,它們的運動路徑不僅很長,而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區域內,并且在該區域中電離出大量的Ar 來轟擊靶材,從而實現了高的沉積速率。隨著碰撞次數的增加,二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠離靶表面,并在電場E的作用下最終沉積在基片上。由于該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,致使基片溫升較低。磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經歷復雜的散射過程,和靶原子碰撞,把部分動量傳給靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成級聯過程。在這種級聯過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量,離開靶被濺射出來。

恒譽真空經過多年努力經營,如今已經發展成為一家擁有生產經營水準公司。公司大規模生產立式蒸發鍍膜設備,產品的庫存充足,服務于廣東、肇慶地區。勇于創新、持續改善是企業文化的精髓。我們始終堅持“誠信合作制作,品質經營”的創業理念,為廣大客戶供應好的產品。

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