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    鍍膜機(jī)定制_廣東優(yōu)惠的直流磁控濺射鍍膜設(shè)備供應(yīng)

    供應(yīng)商:肇慶市高要區(qū)恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司【公司商鋪】

    所在地:廣東省肇慶市

    聯(lián)系人:宋生

    價(jià)格:面議

    品牌:恒譽(yù),,,,

    發(fā)布時(shí)間:2024-11-28

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    【產(chǎn)品詳情】鍍膜機(jī)定制_廣東優(yōu)惠的直流磁控濺射鍍膜設(shè)

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    肇慶市高要區(qū)恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司是一家在機(jī)械和行業(yè)設(shè)備專用配件具有發(fā)展?jié)摿Φ挠邢挢?zé)任公司,公司立安思危,創(chuàng)優(yōu)求存,以大型企業(yè)設(shè)備裝配技術(shù)為依托,主要從事各式直流磁控濺射鍍膜設(shè)備的生產(chǎn)、銷售業(yè)務(wù),銷售范圍遍布全國;廣東各地,備受中小企業(yè)矚目。嚴(yán)格質(zhì)量過程控制,合同交貨周期,是我司不變的執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)。

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    平衡態(tài)磁控陰極內(nèi)外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線閉合于靶面,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,增加碰撞幾率,提高了離化效率,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電,靶材利用率相對較高,但由于電子沿磁力線運(yùn)動(dòng)主要閉合于靶面,基片區(qū)域所受離子轟擊較小.非平衡磁控濺射技術(shù)概念,即讓磁控陰極外磁極磁通大于內(nèi)磁極,兩極磁力線在靶面不完全閉合,部分磁力線可沿靶的邊緣延伸到基片區(qū)域,從而部分電子可以沿著磁力線擴(kuò)展到基片,增加基片區(qū)域的等離子體密度和氣體電離率.不管平衡非平衡,若磁鐵靜止,其磁場特性決定一般靶材利用率小于30%。為增大靶材利用率,可采用旋轉(zhuǎn)磁場。但旋轉(zhuǎn)磁場需要旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),同時(shí)濺射速率要減小。

    旋轉(zhuǎn)磁場多用于大型或貴重靶。如半導(dǎo)體膜濺射。對于小型設(shè)備和一般工業(yè)設(shè)備,多用磁場靜止靶源。用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,點(diǎn)火和濺射很方便。這是因?yàn)榘校帢O),等離子體,和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。于是人們采用高頻電源,回路中加入很強(qiáng)的電容。這樣在絕緣回路中靶材成了一個(gè)電容。但高頻磁控濺射電源昂貴,濺射速率很小,同時(shí)接地技術(shù)很復(fù)雜,因而難大規(guī)模采用。為解決此問題,發(fā)明了磁控反應(yīng)濺射。就是用金屬靶,加入氬氣和反應(yīng)氣體如氮?dú)饣蜓鯕狻.?dāng)金屬靶材撞向零件時(shí)由于能量轉(zhuǎn)化,與反應(yīng)氣體化合生成氮化物或氧化物。磁控反應(yīng)濺射絕緣體看似容易,而實(shí)際操作困難。

    主要問題是反應(yīng)不光發(fā)生在零件表面,也發(fā)生在陽極,真空腔體表面,以及靶源表面。從而引起滅火,靶源和工件表面起弧等。德國萊寶發(fā)明的孿生靶源技術(shù),很好的解決了這個(gè)問題。其原理是一對靶源互相為陰陽極,從而消除陽極表面氧化或氮化。冷卻是源(磁控,多弧,離子)所必需,因?yàn)槟芰亢艽笠徊糠洲D(zhuǎn)為熱量,若無冷卻或冷卻不足,這種熱量將使靶源溫度達(dá)一千度以上從而溶化整個(gè)靶源。

    恒譽(yù)真空秉承“精益求精、自主創(chuàng)新”的精神,不僅在直流磁控濺射鍍膜設(shè)備的生產(chǎn)及銷售領(lǐng)域走自主創(chuàng)新之路,在服務(wù)方面更是不懈追求有品質(zhì)。直流磁控濺射鍍膜設(shè)備一直采用批發(fā);零售;的方式出售,公司全心為客戶服務(wù),產(chǎn)品在銷售后都可提供產(chǎn)品售出后質(zhì)保一年的售后服務(wù),免除中小企業(yè)選購本司產(chǎn)品的后顧之憂。

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