如何選擇絕緣耐高溫氧化鋯陶瓷軸|氧化鋯陶瓷軸推薦
所在地:廣東省東莞市
聯系人:曹先生
價格:20
品牌:礫石,,,,
發布時間:2024-02-14
【產品詳情】如何選擇絕緣耐高溫氧化鋯陶瓷軸|氧化鋯陶
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礫石實業至創建以來,始終堅持以“團結、創新、共鑄未來 ”的經營理念為準則,多年來一直本著“專注如一”的態度推廣氧化鋯陶瓷軸,并推廣至歐美,在本地及全國均有廣闊的市場覆蓋率。長期以來東莞市礫石實業投資有限公司憑借著強大的實力,有效的生產管理,高性價比的產品及完善的售后服務體系,目前已發展成為國內主要的純貿易業之一。
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靶材的主要性能要求
純度
純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業的迅速發展,硅片尺寸由6”, 8“發展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。
雜質含量
靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。例如,半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。
礫石實業進出口業務主要依托產業型公司的產品優勢,在出口集團自有產品的基礎上,為工業陶瓷使用人群提供集成式服務。東莞市礫石實業投資有限公司嚴格按照生產標準,以完善的管理體系,供應的氧化鋯陶瓷軸質量;而且公司注重人才的開發與培養,因此能為工業陶瓷使用人群始終如一地提供良好的服務。
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