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在半導體行業中，電子級雙氧水（Electronic Grade Hydrogen Peroxide）起著非常重要的作用。電子級雙氧水是經過特殊處理、純度較高的雙氧水，其純度一般要求在99.999%以上，廣泛應用于半導體生產中的多個環節。

首先，電子級雙氧水用于半導體生產中的表面清潔。在半導體芯片的制造過程中，表面的清潔非常關鍵。在制造過程中，工作平臺、工具以及制品表面都會受到污染，這些污染物會嚴重影響芯片的質量和性能。而電子級雙氧水在表面清潔過程中的應用十分廣泛。通過使用電子級雙氧水進行表面清潔，可以有效去除表面的有機和無機污染物，保證芯片的純度和可靠性。

其次，電子級雙氧水用于半導體生產中的蝕刻和清洗。在半導體制造過程中，蝕刻和清洗是非常重要的步驟。蝕刻是通過化學反應去除對芯片性能有害的層，以保證芯片功能的正常發揮。而清洗則是為了除去蝕刻過程中產生的殘留物，避免對后續工藝步驟產生不良影響。電子級雙氧水作為一種具有較強氧化性能的物質，被廣泛用于半導體生產中的蝕刻和清洗過程中，可以起到、清潔的作用。

此外，電子級雙氧水還用于半導體生產中的濺射源的清洗。在制造半導體薄膜時，常采用濺射沉積技術。而濺射過程中，濺射源表面會有沉積物，污染源對于薄膜質量的影響也會導致芯片性能下降。電子級雙氧水可以用于濺射源的清洗，去除表面的沉積物，保證濺射源的清潔和穩定，進而保證薄膜的質量。

此外，電子級雙氧水還用于半導體行業中的硅晶圓表面處理。在半導體生產過程中，硅晶圓的表面處理是非常重要的一步。電子級雙氧水可以在硅晶圓表面形成一層非常薄的過氧化硅膜（SiO2），以增強硅晶圓的質量和穩定性。

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