真空裝置由許多不同的零件組成，它們都是經過各種機械加工完成的，如車、銑、刨、磨、銼、等。這樣，零件表面不可避免地會沾上許多加工油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物。這些污染物在真空中易揮發，影響真空設備的限真空。此外，污染物在大氣壓下吸附了大量的氣體，在真空環境中，這些氣體也要被釋放出來。構成了真空設備真空的因素。為此，零件組裝前掉污染物。 真空裝置使用過程中，零件還會受到污染。這種污染與使用條件及真空泵有關。如真空干燥系統，經常使用后會受到蒸發出來的物質的污染;真空鍍膜機的內壁會被蒸鍍材料污染;離子束刻蝕設備的內壁會被工件濺射的濺散物污染;真空中的電子槍的燈絲，由于高溫蒸發會使其附近表面形成金屬膜;規管燈絲在高溫下蒸發，使陶瓷絕緣子上形成薄膜，破壞絕緣強度，影響測量的準確性。真空系統中的機械泵油和擴散泵油更是污染源，設備長期工作后會使設備內部形成明顯的油膜。這些污染同樣會影響設備的性能，應注意隨時。 負壓真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破0.1pa極限真空，可長時間運行，并且針對國內高溫差、高濕度、高粉塵環境做了針對性優化，更適應國內的各類工況環境，實際應用實現更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應用于電子光伏、包裝行業、真空模擬、風洞實驗和造紙與印刷等各種生產行業。