上海干冰雪花顆粒清洗設備半導體清洗應用-蘇州二氧化碳清洗設備

迪史潔（上海）清洗設備有限公司成立于2006-07-05，是一家以個體經營。追求品質可靠，盡顯企業精華。采用成熟的管理模式，堅持“以人為本,以誠經營,以質保障”的經營理念，主要負責二氧化碳雪花設備及其它周邊產品的經營銷售，滿足芯片行業的多樣化需求。

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ITO薄膜具有高透射率、低電阻率的特性，在顯示器件中常用作透明電極。ITO玻璃基板表面的清潔程度，直接影響到液晶顯示器件生產的成品率；對于OLED器件，lTO薄膜表面狀態的影響更大。其清洗方法及表面處理工藝都將影響到ITO薄膜的特性，如化學組成、ITO表面的功函數、ITO薄膜和有機層的接觸特性等，進而影響OLED的性能。因此ITO玻璃基板的清洗，要求能除去微米量級的粒子和所有的有機、無機化學物質及污跡、水跡等污染物，并要求清洗后的ITO薄膜具有良好的親和性。

目前經常用于ITO玻璃表面處理的方法有：化學方法(酸或堿處理)和物理方法(機械拋光、熱處理、氧等離子體處理、氧輝光放電及臭氧環境紫外線處理等)。本文采用的是干冰顆粒噴射清洗技術。1986年提出將此方法用于表面清潔。之后W.Gerristead等人對2英寸單晶硅基片進行干冰顆粒噴射清洗，清洗前后硅片上的雜質顆粒由538000／cm2減少到342／cm2，減少程度達99.9％；經x光電子能譜(XPS)測量，清洗前后的基片表面上碳氫化臺物的含量降低了25％～30％。此外，干冰顆粒噴射清洗法用于金屬、陶瓷、光學器件、聚合體表面、CMOS圖像傳感器也取得了很好的清洗效果

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“優異的產品、成熟的技術、盡善盡美的服務”是迪史潔干冰雪花清洗設備所有職員的追求目標，作為可靠從事二氧化碳雪花設備的供應商，長期為芯片行業提供成熟技術和良好服務，倡導綠色環保節能，高能和諧發展。公司不斷的整合企業資源，以可靠、節能、環保的二氧化碳雪花設備滿足芯片行業各方位的需求。

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迪史潔干冰雪噴射清洗在傳統的光刻微芯片生產中也得到了證明。在芯片有限公司，它被用于生產各種應用的磁阻傳感器。公司成立了公司2雪噴射技術在制造用于磁共振傳感器的三維微芯片中作為傳統濕化學清洗的有效且環保的替代物。這些通常需要用超純介質進行昂貴的沖洗過程。二氧化碳干冰技術去除了金屬化后在導電路徑邊緣形成的所謂柵欄。然后可以將下一個結構應用到硅晶片上。

CO2雪花清洗系統因為即使是小的流體介質殘留物也會影響微電子元件的功能或保護涂層的粘附性，所以這些也需要可靠地去除。哥倫比亞2雪為清潔和提高保護涂層的附著力提供了一種經濟、無殘留的解決方案。同時，該工藝還能夠選擇性地處理特定部分，如粘合和接觸區域。

迪史潔干冰雪噴射清洗在傳統該工藝還為射頻識別應用的微芯片封裝提供了解決方案。組裝前，半導體由夾具放在一個特殊的料盒中。在此過程中，機器人會產生足夠的氣流，這可能會導致將極輕的芯片從包裝中取出。為了防止這種情況，芯片被從封裝后部施加的真空壓住。為此，鉆一個小孔，并清除鉆孔產生的殘留物。哥倫比亞2雪噴射清潔擅長于這一特殊過程。

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CO2雪花清洗系統當這些動作在幾分之一秒內發生時，可以非?？焖俚厍逑春腿ッ桃r底，同時仍然產生可再現的結果。在清潔過程中，二氧化碳完全轉化為氣體，基材立即干燥，因此無需進行常規濕化學工藝所需的高能耗干燥過程。CO2雪噴技術還消除了與非常窄的工藝窗口相關的風險，例如在傳統工藝中出現的那些，例如電拋光:如果處理時間太短，則不能可靠地去除微小毛刺。如果插管放在浴缸里太久，頂端會變鈍。該方法的其他優點包括不需要化學物質，不產生廢水，也沒有需要處理的溶劑。

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液態二氧化碳被引導通過CO2雪花清洗系統的無磨損雙組分環形噴嘴，并在排出時膨脹形成細小的二氧化碳水晶。然后，它們被壓縮空氣的環形夾套射流捆綁在一起，加速到超音速。這項專利技術了均勻的清潔效果，即使在使用多個噴嘴的大表面上也是如此。

雪和壓縮空氣的噴射溫度為零下78.5攝氏度，可以聚焦在需要的地方。當它撞擊要清潔的表面時，會發生熱、機械、升華和溶劑效應的組合。這四種清潔機制使CO2雪花清洗系統能夠清除薄膜污染物，如冷卻潤滑劑、加工油、拋光膏、分離劑和硅的殘留物，以及微粒污染物，如碎片、灰塵和磨損。由于清潔步驟使用不可燃、無腐蝕性和的一氧化碳2雪對材料也很溫和，即使是精細結構的表面也可以處理。

服務是單向的，溝通是雙向的，切實滿足客戶先在的和潛在的需求，提倡給客戶更多的感動。迪史潔（上海）清洗設備有限公司重合同，守信用，維護企業好名譽。衷心期望著與各位朋友互信互助、共同發展。良好的銷售是打開市場的金鑰匙。我司努力開拓市場，擴大銷售范圍，進一步向客戶提供更優異的二氧化碳雪花設備和服務。歡迎來電，愿與廣大新老客戶攜手共創美好的明天。

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