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ITO薄膜具有高透射率、低電阻率的特性，在顯示器件中常用作透明電極。ITO玻璃基板表面的清潔程度，直接影響到液晶顯示器件生產(chǎn)的成品率；對于OLED器件，lTO薄膜表面狀態(tài)的影響更大。其清洗方法及表面處理工藝都將影響到ITO薄膜的特性，如化學(xué)組成、ITO表面的功函數(shù)、ITO薄膜和有機(jī)層的接觸特性等，進(jìn)而影響OLED的性能。因此ITO玻璃基板的清洗，要求能除去微米量級的粒子和所有的有機(jī)、無機(jī)化學(xué)物質(zhì)及污跡、水跡等污染物，并要求清洗后的ITO薄膜具有良好的親和性。

目前經(jīng)常用于ITO玻璃表面處理的方法有：化學(xué)方法(酸或堿處理)和物理方法(機(jī)械拋光、熱處理、氧等離子體處理、氧輝光放電及臭氧環(huán)境紫外線處理等)。本文采用的是干冰顆粒噴射清洗技術(shù)。1986年提出將此方法用于表面清潔。之后W.Gerristead等人對2英寸單晶硅基片進(jìn)行干冰顆粒噴射清洗，清洗前后硅片上的雜質(zhì)顆粒由538000／cm2減少到342／cm2，減少程度達(dá)99.9％；經(jīng)x光電子能譜(XPS)測量，清洗前后的基片表面上碳?xì)浠_(tái)物的含量降低了25％～30％。此外，干冰顆粒噴射清洗法用于金屬、陶瓷、光學(xué)器件、聚合體表面、CMOS圖像傳感器也取得了很好的清洗效果

迪史潔（上海）清洗設(shè)備有限公司是主要從事雪花清洗設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的技術(shù)生產(chǎn)企業(yè)之一。擁有多年經(jīng)營經(jīng)驗(yàn)，綜合實(shí)力雄厚。以銷售為主營方向，產(chǎn)品廣泛銷售于全國。秉承以客戶價(jià)值為依歸的經(jīng)營理念，立足客戶需求，始終保持積極穩(wěn)健的發(fā)展。

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