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等離子體指部分或完全電離的氣體，且自由電子和離子所帶正、負電荷的總和完全抵消，宏觀上呈現中性電。等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質，它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質存在的第四態。

看似“神秘”的等離子體，其實是宇宙中一種常見的物質，在太陽、恒星、閃電中都存在等離子體，它占了整個宇宙的99%。現在人們已經掌握利用電場和磁場產生來控制等離子體。等離子體可分為兩種：高溫和低溫等離子體。

低溫等離子體的電離率較低，電子溫度遠高于離子溫度，離子溫度甚至可與室溫相當。所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體，低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的活性粒子，比通常的化學反映所產生的活性粒子種類更多、活性更強，更易于和所接觸的材料表面發生反映，因此它們被用來對材料表面進行改性處理。

與傳統的方法相比，等離子體表面處理具有成本低、無廢棄物、等顯著的優點，同時可以得到傳統的化學方法難以達到的處理效果。現在低溫等離子設備廣泛運用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領域。

應用領域介紹

等離子設備主要適用于各種材料的表面改性處理：表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合以及等離子體輔助化學氣相沉積：

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