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六甲基二硅氮烷 999-97-3 六甲基二硅胺烷 半導體助劑 中文名稱： 六甲基二硅氮烷 中文別名： 六甲基二硅亞胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS 英文名稱： 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane CAS號： 999-97-3 EINECS號： 213-668-5 分子式： C6H19NSi2 分子量： 161.39 密度(25℃)g/cm3：0.770—0.780  折光率()：1.408±0.002 六甲基二硅氮烷含量(%)：≥99.0  六甲基二硅氧烷含量(%)：≤0.7 三甲基硅醇含量%：≤ 0.3  閃點：27℃ 沸點：126℃ 色度：≤10 用途：特種有機合成。衍生物等合成過程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導體工業中光致刻蝕劑的粘結助劑。