產(chǎn)品庫

徐匯石墨盤專用真空烤盤爐|合肥高質(zhì)量的石墨盤專用真空烤盤爐_廠家， 合肥真萍電子科技有限公司自成立伊始，就致力于打造屬于公司的自有。在電熱設(shè)備行業(yè)中不斷創(chuàng)新，融合成熟的技術(shù)，創(chuàng)意新穎的理念，生產(chǎn)有品質(zhì)的石墨盤專用真空烤盤爐。石墨盤專用真空烤盤爐好銷售于北京;上海;天津;重慶;山東;河北;海南;安徽;吉林;廣東，獲得廣泛、穩(wěn)定的產(chǎn)品市場。

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徐匯石墨盤專用真空烤盤爐，.產(chǎn)品介紹 真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達(dá)到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。 二、設(shè)計特點(diǎn) 1、后門設(shè)計熱風(fēng)電機(jī) 2、降溫時風(fēng)機(jī)開啟，同時兩端降溫封頭開啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向 3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換，達(dá)到快速降溫的目的 三、技術(shù)指標(biāo) 1、使用溫度：1450℃；最高溫度：1500℃； 2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙； 4、加熱元件：石墨加熱棒； 5、冷卻方式：氣冷 + 循環(huán)風(fēng)冷降溫； 6、控溫穩(wěn)定度：±2℃，具有PID參數(shù)自整定功能； 7、爐膛溫度均勻度：±5℃（恒溫1500℃）； 8、氣氛: 可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%； 9、真空: 10-3torr級； 10、抽氣速率：空載下，30min達(dá)到10-2torr 11、升溫功率：170kW； 12、升溫速率：15℃/min（空載）； 13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘 14、腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高） *技術(shù)細(xì)節(jié)變動之處，恕不另行通知，具體設(shè)備參數(shù)以咨詢結(jié)果為準(zhǔn)。

以嚴(yán)格的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)控制，滿足顧客對產(chǎn)品實物質(zhì)量的期望和要求。規(guī)范化的質(zhì)量管理滲透于每一個生產(chǎn)環(huán)節(jié)，完善的售后服務(wù)解除了每個用戶的后顧之憂。合肥真萍電子科技有限公司出售的石墨盤專用真空烤盤爐質(zhì)量有保障，對于售出的石墨盤專用真空烤盤爐，我們會在雙方協(xié)商的時間內(nèi)發(fā)貨，并提供產(chǎn)品售出后質(zhì)保一年的售后服務(wù)。

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