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可編程多軸控制器

實現(xiàn)納米級控制的控制器

CK3M

應用領域

機床/沖壓機

使用放電加工機、水刀切割、激光加工機、研磨機、精密沖壓機等，實現(xiàn)高速且超高精度的加工

半導體、FPD制造/檢查裝置

實現(xiàn)了曝光裝置、線性編碼器、點膠機、晶片檢查裝置等的超精密動作

機器人

通過具備客戶獨有的機器人機構的裝置，實現(xiàn)特殊的機械機構的控制

產品特點

精密機械機構示例

需要同步控制的多軸機構

由高分辨率的電機和編碼器構成的超精密工作臺

由多個直線電機和標尺構成的龍門架機構

客戶獨有的機器人機構

需要同步控制的多軸機構

由高分辨率的電機和編碼器構成的

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