1.真空度：干式螺桿真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高，極限真空均可達到1-2Pa，珂勒曦的干式螺桿真空泵極限真空已突破0.1Pa；無油往復真空泵為粗真空設備，極限真空度低，需要搭配羅茨等其他真空泵提高極限真空。 無油真空泵-2.抽氣量：無油渦旋真空泵由于內部結構問題，抽氣量較小，只適用于小抽氣量的工藝中；干式螺桿真空泵型號齊全，可適用大抽氣量工藝中，配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。 3.穩定性：干式螺桿真空泵性能穩定，噪音低，故障率低；無油往復真空泵結構簡單，噪音較高，需要經常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復雜，轉子與軸不為一體，出現故障需全部重新拆解裝配，反復裝配從而降低產品性能及穩定性。 無油真空泵-4.特殊工況處理：由于化工、制藥、半導體行業等相關工藝氣中會不同程度含有易燃、易爆以及腐蝕性氣體，所以干式真空泵需要特殊處理。干式螺桿真空泵內部結構簡單，兩根轉子、泵腔均可做防腐處理，常見的有鎳磷涂層和特氟龍涂層，珂勒曦干式螺桿真空泵采用則是特殊的多層鍍鎳和納米材料鍍層，有效防止鹽酸等高腐蝕性介質對設備的侵蝕。爪式真空泵很難做防腐處理，各級隔板之間幾乎無法做表面處理，轉子表面的防腐涂層也容易在裝配時損傷。無油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體，不能抽取易燃、易爆及具有腐蝕性的氣體。 無油真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破0.1pa極限真空，可長時間運行，并且針對國內高溫差、高濕度、高粉塵環境做了針對性優化，更適應國內的各類工況環境，實際應用實現更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應用于電子光伏、包裝行業、真空模擬、風洞實驗和造紙與印刷等各種生產行業。