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實用的全自動高溫爐管，規格： ? 晶圓尺寸 : 200mm, 300mm ? 一個腔體 -> 晶圓數量 : 8”: 75 片, 12”: 50 片 ? 工作溫度范圍 : 150℃ ~400℃ ? 5 Axis WTR 設備： 尺寸：可定制重量（kg）：2500-3500 晶圓： 尺寸：12” ，數量：12” -> 50 配置： 裝/卸量：12” -> 2盒 WTR（移動范圍） ：X, Y, θ, Z Axis (沿X軸移動，繞Y軸移動并旋轉。） 機械手臂 ：可選項1個手臂2個手 工藝空間 ：加熱腔 濾網：高效過濾器 升降機器人 ：晶舟升/降 晶圓緩存區 ：側面緩存 電離期：硅芯盒裝 工藝參數： 工藝溫度：150~400℃(±4℃) 溫度均勻度：±3℃ 氧含量：≤20 PPM *技術細節變動之處，恕不另行通知，具體設備參數以咨詢結果為準。

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