電子無塵車間要求：   潔凈室可根據電子產品生產工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。 電子工業潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。 有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置： 1 運行班次或使用時間不同； 2 生產過程中散發的物質對其他工序、設備交叉污染，對產品質量或操作人員健康、安全有影響； 3 對溫、濕度控制要求差別大； 4 潔凈室(區)內工藝設備發熱相差懸殊； 5 凈化空調系統與一般空調系統； 6 系統風量過大的凈化空調系統。 潔凈室(區)內的溫度、相對濕度應符合本規范第3．2．3條的規定。 潔凈室(區)的清掃方式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級等因素確定。潔凈室(區)宜采用移動式GX真空吸塵器。對于空氣潔凈度等級為1～5級的潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統，潔凈室內的吸塵系統管道應暗敷。 氣流流型的設計，應符合下列要求： 1氣流流型應滿足產品生產工藝和空氣潔凈度等級的要求?？諝鉂崈舳鹊燃墳?～5級時，應采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6～9級時，宜采用非單向流； 凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室(區)面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統， 潔凈廠房的潔凈室(區)送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區)使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節約能源的送風方式。 多套凈化空調系統同時運行或較大型電子工業潔凈廠房的凈化空調系統的新風，應集中處理。 風機過濾器機組的設置應符合下列要求： 1應根據空氣潔凈度等級和送風量選用； 2應按潔凈室(區)內生產工藝對氣流流型的要求布置； 3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定； 4送風量應能調節； 5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。 層流罩的設置應符合下列要求： 1潔凈室(區)內等于或嚴于5級的局部凈化區域宜采用層流罩； 2層流罩的形式和進風方式應根據生產工藝或設備需要選用； 3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定； 4安裝方式不應影響生產操作。