產(chǎn)品庫(kù)

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廠家批發(fā)全自動(dòng)高溫爐管，規(guī)格： ? 晶圓尺寸 : 200mm, 300mm ? 一個(gè)腔體 -> 晶圓數(shù)量 : 8”: 75 片, 12”: 50 片 ? 工作溫度范圍 : 150℃ ~400℃ ? 5 Axis WTR 設(shè)備： 尺寸：可定制重量（kg）：2500-3500 晶圓： 尺寸：12” ，數(shù)量：12” -> 50 配置： 裝/卸量：12” -> 2盒 WTR（移動(dòng)范圍） ：X, Y, θ, Z Axis (沿X軸移動(dòng)，繞Y軸移動(dòng)并旋轉(zhuǎn)。） 機(jī)械手臂 ：可選項(xiàng)1個(gè)手臂2個(gè)手 工藝空間 ：加熱腔 濾網(wǎng)：高效過(guò)濾器 升降機(jī)器人 ：晶舟升/降 晶圓緩存區(qū) ：側(cè)面緩存 電離期：硅芯盒裝 工藝參數(shù)： 工藝溫度：150~400℃(±4℃) 溫度均勻度：±3℃ 氧含量：≤20 PPM *技術(shù)細(xì)節(jié)變動(dòng)之處，恕不另行通知，具體設(shè)備參數(shù)以咨詢結(jié)果為準(zhǔn)。

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