光刻膠是什么_光刻膠成份_光刻膠分類
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光刻膠是什么
光刻膠針對很多人而言很有可能會(huì)較為不太熟悉,它是半導(dǎo)體材料的一類,歸屬于化工新材料,在微電子技術(shù)中有巨大的功效,今日大家就從成份到分類、用途來詳盡認(rèn)真了解一下光刻膠是什么。
光刻膠以及成份光刻膠是什么
光刻膠是一類有機(jī)化合物,它被紫外光曝光后,在顯影溶液中的溶解度會(huì)產(chǎn)生變化。光刻膠是微電子技術(shù)中細(xì)小圖型生產(chǎn)加工的重要材料其一,尤其是近些年規(guī)模性和超大規(guī)模集成電路芯片的發(fā)展趨勢,也是大大的推動(dòng)了光刻膠的科學(xué)研究開發(fā)設(shè)計(jì)和運(yùn)用。
光刻膠一般 有三種成份:感光化合物、基材材料和有機(jī)溶劑。在感光化合物中有時(shí)候還包含增感劑。
光刻膠的分類光刻膠是什么
1、負(fù)性光刻膠
關(guān)鍵有聚肉桂酸系(聚酯膠)和環(huán)化橡膠系兩大類,前者以柯達(dá)公司的KPR為意味著,后面一種以OMR系列產(chǎn)品為意味著。
2、正性光刻膠
關(guān)鍵以重氮職為感光化合物,以酚醛樹脂為基本材料。常見的有AZ-1350系列產(chǎn)品,關(guān)鍵優(yōu)勢是分辨率高,缺陷是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等比較差。
3、負(fù)性電子束光刻膠
為帶有環(huán)氧基、乙烯基或環(huán)硫化物的聚合物。常見的是COP膠,靈敏度0.3~0.4pC/cm2(加快工作電壓10KV時(shí))、分辨率1.0pm、對比度0.95。限定分辨率的關(guān)鍵關(guān)鍵因素是光刻膠在顯影時(shí)的增溶。
4、正性電子束光刻膠
關(guān)鍵為甲基丙烯甲酯、烯砜和重氮類這三種聚合物。常見的是PMMA膠,典型性特點(diǎn):靈敏度40~80pC/cm^2(加快工作電壓20KV時(shí))、分辨率0.1um、對比度2~3。PMMA膠的關(guān)鍵優(yōu)勢是分辨率高。關(guān)鍵缺陷是靈敏度低,除此之外在高溫下易流動(dòng),耐干法刻蝕性差。
光刻膠的用途光刻膠是什么
光刻膠是微電子技術(shù)中細(xì)小圖型生產(chǎn)加工的重要材料其一,在模擬半導(dǎo)體、發(fā)光二極管、微機(jī)電系統(tǒng)、太陽能光伏、微流道和生物芯片、光電子器件/光子器件中都有重要的運(yùn)用。
深圳市百通達(dá)科技有限公司主要經(jīng)營的產(chǎn)品有:光刻膠,蝕刻液,緩蝕抗氧化劑,巴斯夫電鍍中間體,Protectol GA 50,104LS蛋白酶,巴斯夫Agnique-SLES 270T,Ampho-149,Glucopon225DK,Lutropur M70,巴斯夫Pluronic 1720,Pluronic1740,NP-S,巴斯夫防霧涂料,巴斯夫HP100,巴斯夫PE系列多個(gè)品種,同時(shí)經(jīng)營國內(nèi)外 化工企業(yè)產(chǎn)品,包括基礎(chǔ)化工原料、表面活性劑等三百多個(gè)品種;
公司本著客戶至上,質(zhì)量的原則為客戶提供優(yōu)良的服務(wù)及高品質(zhì)的產(chǎn)品,本公司經(jīng)銷的進(jìn)口產(chǎn)品不僅在深圳地區(qū)深受用戶好評(píng),而且具有很高市場占有率,產(chǎn)品行銷全國各地區(qū)。是德國巴斯夫化工公司在華南地區(qū)的核心分銷商。百昕公司成立于2007年3月,自創(chuàng)辦以來,秉承“以人為本,誠信立業(yè)”的經(jīng)營方針,樹立起良好的口碑與形象,憑借在顏料領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟技術(shù),在化工行業(yè)迅速崛起。
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