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石墨盤烤盤爐 合肥廠家直銷 真空烤盤熱處理設備 真萍科技

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發布時間:2019-11-20

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石墨盤烤盤爐 合肥廠家直銷真空烤盤 熱處理設備 真萍科技 一.產品介紹 真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內抽真空,被處理工件放置在爐膛內,采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質量的目的。 二、設計特點 1、后門設計熱風電機 2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內產生如圖所示的氣體流向 3、通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的 三、技術指標 1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃; 2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙; 4、加熱元件:石墨加熱棒; 5、冷卻方式:氣冷 + 循環風冷降溫; 6、控溫穩定度:±2℃,具有PID參數自整定功能; 7、爐膛溫度均勻度:±5℃(恒溫1500℃); 8、氣氛: 可向爐膛內通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%; 9、極限真空: 10-3torr級; 10、抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr 11、升溫功率:170kW; 12、升溫速率:15℃/min(空載); 13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘 14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高) *技術細節變動之處,恕不另行通知,具體設備參數以咨詢結果為準。

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