本標準適用于潔凈廠房高純氣體管道配管施工。 

1氣體管道的干管，應敷設在上下技術夾層或技術夾道內，當與水、電管線共架時應設在其上部。 

2當采用碳素鋼支吊架，碳素鋼管卡時必須是鍍鋅件，且不銹鋼管道與其接觸處應采用不產塵的非金屬材料隔離。3高純氣體管道的設計應符合下列要求；a按氣體流量,壓力或生產工藝需求確定管徑，氣體管道

最小管徑不小于6mm。b管道系統應盡量短。c不應出現不易吹除的盲管，死角。d管道系統應設必要的吹除口和測試取樣口。

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