【產品詳情】真空泵PECVD系統供應/等離子PECV
查看該公司全部產品>>真空泵PECVD系統供應/等離子PECVD系統銷售 為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD）， 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。 合肥科晶材料技///真空泵PECVD系統供應/等離子PECVD系統銷售
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