沈陽儀表科學研究院在大力開發IC裝備整機設備的同時，還在積極研制IC裝備核心零部件產品。經過兩年多的技術攻關，儀表院光學公司成功研制出具有自主知識產權的IC光刻系統精密紫外反光鏡產品。

　　精密紫外反光鏡是IC光刻系統的關鍵部件，還用于紫外曝光機、紫外固化機、醫療設備和曬版機等設備，在光顯示和電子等領域廣泛應用。由于設計制造難度大、工藝技術復雜，長期以來只能依賴進口。2013年初，匯博光學成立專項研究小組，有計劃開展IC光刻系統用紫外反光鏡產品研究開發工作。研發小組結合光學公司多年的反光鏡產品設計研發經驗，收集國際前沿技術信息，自主創新，積極開拓，成功開發出國際水平的IC光刻系統精密紫外反光鏡產品。

　　此產品可耐高溫450℃，利用自主創新工藝實現非球面成形。反射波段范圍在300nm-440nm，反射率大于95%，達到反射紫外光濾除其它可見光的目的。關鍵技術指標均達到國際先進水平。

　　IC光刻系統精密紫外反光鏡產品的成功開發，填補了該項技術的國內空白，在精密非球面加工和檢測技術、非球面耐高溫薄膜的鍍制等方面均獲得技術突破，將有力推動光學薄膜行業的技術進步。

　　匯博光學現已形成口徑55mm-362mm系列精密紫外反光鏡產品，現已與10余家客戶建立合作，近期將推出645mm大口徑產品。

　　精密紫外反光鏡產品將逐漸成為儀表院光學公司反光鏡產品線主導產品。